位置检测部分:以激光检测原子力显微镜(Atomic Force Microscope Employing Laser Beam Deflection for Force Detection,Laser-AFM)为例,二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面,并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时,由于样品表面的原子与微悬臂探针原子间的相互作用力,微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏,反射光束也将随之偏移。通过光电二极管检测光斑位置的变化,就能获得被测样品表面形貌的信息。